激光精密加工技術(shù)
激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特別適合于精密加工。按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求,將目前的激光加工技術(shù)分為三個(gè)層次:
(1)大型件材料激光加工技術(shù),以厚板(數(shù)毫米至幾十毫米)為主要對(duì)象,其加工精度一般在毫米或者亞毫米級(jí);
(2)精密激光加工技術(shù),以薄板(0.1~1.0 mm)為主要加工對(duì)象,其加工精度一般在十微米級(jí);
(3)激光微細(xì)加工技術(shù),針對(duì)厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對(duì)象,其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級(jí)。
在機(jī)械行業(yè)中,精密通常是指表面粗糙度小、各種公差(包括位置、形狀、尺寸等)范圍小。這里所說(shuō)的“精密”,是指被加工區(qū)域的縫隙小,就是說(shuō)加工所能達(dá)到的極限尺寸小。
在上述三類激光加工中,大型件的激光加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟,產(chǎn)業(yè)化的程度已經(jīng)非常高;激光加工微細(xì)加工技術(shù)如激光微調(diào)、激光精密刻蝕、激光直寫(xiě)技術(shù)等也已在工業(yè)上得到了較為廣泛的應(yīng)用。
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